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金融界2025年7月30日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“固体前体重量监测系统、反应器系统及其使用方法”的专利，公开号CN120385416A，申请日期为2025年01月。
专利摘要显示，一种在反应器系统中使用的前体监测组件，用于提供来自源容器的源材料的可用性的实时和直接测量。该组件包括定位在内部托盘的底壁与外部壁(例如源容器的基部)之间和/或源容器外部的一个或多个力或负载传感器，例如测力计。信号调节元件处理来自传感器的输出电信号，然后控制器利用转换因子处理来自信号调节部件的输出信号，例如以确定存储在源容器中的源材料的当前重量。控制器使用该重量来计算源容器中可用的源材料或化学物质的量。
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